超声波马达通过将超声波振动转换为动能来驱动镜头，具有对焦迅速、安静且支持全时手动对焦等特点。高扭矩的环形USM与小型化的微型USM是通过旋转运动来带动镜头对焦，而对焦平滑的NANO USM是通过直线往复运动来带动镜头对焦。
1987年佳能首次将其用于EF 300mm f/2.8L USM。
USM超声波马达通过将超声波振动转换为动能来驱动镜头。按照不同的形态可分为环形USM、微型USM和NANO USM三种类型。其共同点是基本结构中均包含了具有弹性定子。定子与压电陶瓷元件连接，通过向压电陶瓷元件施加电压，使定子发生波浪般的超声波振动作为驱动源，带动镜头对焦。USM超声波马达以低耗电量实现了高灵敏度的高速对焦、平滑的对焦过渡效果以及安静的操作音，并实现了全时手动对焦。结构简单也是USM超声波马达的一大特点。
环形USM
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环形USM超声波马达呈圆环形，结构简单，与圆形的镜头结构很匹配。本身具有相当强的扭矩、更有利于驱动大光圈及超远摄镜头，并且使全时手动对焦成为可能。
微型USM
继环形USM之后，佳能又开发了不受镜头口径限制的微型USM超声波马达。同样支持全时手动对焦，并在需要控制镜头体积及重量的镜头中，发挥着优势。由于成本得到了更好的控制，因此能在更多的镜头上得以应用。
NANO USM
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[广告]NANO USM工作演示CG
NANO USM呈小型芯片状，体积很小，采用了与环形USM及微型USM旋转运动所不同的直线往复运动形式。具备环形USM马达高速对焦与导螺杆型STM步进马达对焦安静流畅的特点。能够在拍摄静止图像时进行高速对焦。在配合佳能高性能的追踪自动对焦拍摄视频时，除可提供宁静的对焦驱动外，焦点切换过度的效果也很平缓稳健，并且支持全时手动对焦。