佳能发布FPD曝光设备“MPAsp-H1003T” ——实现2.0μm解析度对65英寸液晶面板的一次曝光

       佳能将于2018年10月下旬起正式发售FPD（Flat Panel Display）曝光设备新品，型号为“MPAsp-H1003T”。该产品针对第8代玻璃基板尺寸※1研发，实现了运用2.0μm（L/S※2）的解析度对65英寸液晶面板进行一次曝光的技术。

MPAsp-H1003T

       随着平板电视的普及，今后的电视市场需求方向，将向以65英寸为主的大尺寸、搭载4K和8K技术的高精细化、以及以有机EL面板为代表的获得Ultra HD Premium※3认证的高品质电视方向发展。新产品针对在电视机等液晶平板制造业中被广泛使用的第8代玻璃基板所设计，使高品质65英寸液晶面板的能够实现量产。

实现运用2.0μm解析度对65英寸液晶面板的一次曝光

       佳能的FPD曝光设备采用了搭载“Mirror Projection”一次曝光技术的镜面光学系统，通过大范围曝光，实现了大型液晶面板的量产。通过新开发的镜面光学系统与独特的加工技术，新产品保持了与原机型“MPAsp-H803T”（2013年6月发售）相同的2.0μm（L/S）的解析度，并将一次曝光的范围从较大58英寸进一步提升到了65英寸。因此，相比于旧机型，新产品对65英寸液晶面板的曝光单位时间缩短了约37%※4。

套刻精度的提升

       随着加工工艺的高精细化，套刻精度也变得愈加重要。影响套刻精度的较大因素就是加工工艺中的非线性成分（即形变成分），通过倍率补正技术对非线性成分的有效应对，并与多点同时校正系统配合，新机型的套刻精度相比以往机型提高了10%。

双曝光线布局进一步提升MMG生产效率

       通过对一台的涂布显影设备※5连接两台的FPD曝光设备的双曝光线布局，提升了可在玻璃基板上配置不同尺寸液晶面板的MMG※6技术的生产效率。新产品还可以与旧机型“MPAsp-H803T”配合，能使其在不影响现有第8代生产线产能的前提下实现搭配量产。

※1 2,200×2,500mm尺寸的玻璃基板主要运用在电视机的液晶面板制造上。
※2 Line and Space的略写。
※3 为制定Ultra High Definition平台的统一标准，设立了UHD联盟。Ultra HD Premium认证授予满足该联盟制定的所有标准的显示设备。
※4 在第8代玻璃基板上，曝光三片65英寸面板的单位时间比较。
※5  曝光前将光刻胶涂在玻璃基板的表面上，曝光后再将其浸没于显影液中来去除多余光刻胶的设备。
※6  Multi Module on Glass的略写。在一张玻璃基板上配置不同尺寸液晶面板的技术。可提高玻璃基板的使用效率。